多晶硅废水

多晶硅废水厂的废水主要来自工艺排气洗涤系统,TCS装置,急冷塔和刻蚀装置。主要组成为硅酸盐和盐(钙盐和/或钠盐),细小的硅粉和金属氧化物。 废水需经过处理达到当地规定的PH值,TSS(总悬浮固体)值和TDS(总溶解固体)值。 在某些情况下,废水中可能还含有未反应完全的氯硅烷和硅胶,增加了废水处理的难度。

维朗帝斯在处理多晶硅厂废水上有着丰富的经验。通过化学和物理方法调理水质,随后在压滤机分离出固体来降低TSS值。通过多效蒸发塔分离出盐或高浓度盐溶液,来降低TDS值。从蒸发塔中冷凝下来的水可作为干净的工艺用水,实现“零排放”。